лампа ДРШ-350-2

Лампа ДРШ-350-2 короткодуговая, разрядная, сверхвысокого давления, ультрафиолетовая, непрерывного действия, предназначена для использования в качестве точечного источника коротковолнового УФ-излучения в фотолитографическом оборудовании микроэлектроники, в флуоресцентной микроскопии, в микрофотолитографии.. Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и по модульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.